在目前,國內技術目前比較成熟的真空(低壓)哔咔漫画APP下载免费清洗機包括:電容耦合哔咔漫画APP下载免费清洗機(CCP)和電感耦合哔咔漫画APP下载免费清洗機(ICP),而微波哔咔漫画APP下载免费清洗機相對比較少見。隨著半導體產業和新材料等領域的迅猛發展,微波哔咔漫画APP下载免费體表麵處理技術越來越受到重視。今天哔咔漫画官网版下载來探討一下回旋共振和螺旋波哔咔漫画APP下载免费體的原理和特點。

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1、電子回旋共振(ECR)哔咔漫画APP下载免费體

通過實驗數據,哔咔漫画官网版下载知道在0.1T量級的磁場中以1kW左右的微波(通常采用頻率為2.45 GHz)從真空窗入射,即使在很低的壓強(0.05 Pa~0.5Pa)條件下也可以生成高密度(1017m-3)的哔咔漫画APP下载免费體。能夠這樣高效的生成哔咔漫画APP下载免费體的原因正是哔咔漫画APP下载免费體共振現象。利用磁場中電子回旋共振哔咔漫画APP下载免费體發生裝置模型如圖1所示:

哔咔漫画官网版下载知道當有磁場存在時,電子便會在洛侖茲力的作用下作環繞磁力線的回旋運動。這種運動的頻率由磁場強度所決定:ωe/2π=eB/2πme(電子回旋頻率)。當B=0.0875T時,回旋頻率為2.45 GHz。如果從外部施加同一頻率的振蕩電場,作回旋運動的電子會受到同相位電場的作用而被“直流式”的持續加速。因此,當電場角頻率ω與電子回旋角頻率ωe一致時,就會發生電子的共振加速,電子因此獲得較高的動能,這種現象便被稱為電子回旋共振。

利用這個原理的電子回旋共振哔咔漫画APP下载免费體裝置,由於吸收了微波能量的高速電子頻繁的引起電離,即便在低氣壓下也可以獲得高密度哔咔漫画APP下载免费體。其中電子回旋共振哔咔漫画APP下载免费體在半導體技術中具有非常重要的應用。

1、螺旋波哔咔漫画APP下载免费體

同樣的據研究數據顯示,在磁場中給天線通以頻率遠低於電子回旋頻率(ω<<ωc)的高頻電流,即使在低氣壓下也容易地生成高密度的哔咔漫画APP下载免费體,這樣生成的哔咔漫画APP下载免费體叫做螺旋波哔咔漫画APP下载免费體。

下圖圖2所示便為產生這種哔咔漫画APP下载免费體的裝置,天線部分的直徑為0.1m左右,在0.01 T量級的弱磁場中對天線輸入13.56MHz、1kW的高頻信號後就可以在1~5Pa的壓強下得到密度為1018~1019m-3的強電離哔咔漫画APP下载免费體。這種哔咔漫画APP下载免费體的生成機製與被稱為螺旋波的波動有著密切的關係。螺旋波是指沿磁力線方向傳播的右旋圓偏振波的低頻部分(ω<<ωc),螺旋波的波長近似與磁場成正比例、與哔咔漫画APP下载免费體密度成反比例。

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在圖2中,若給環繞石英管的天線(用於激勵m=1的模式)通以高頻電流,就會使得等離於體內部的磁場發生振蕩,激勵起強烈的螺旋波。這就是說,從外部投入的高頻能量變成了等離於體內部的波動(集體運動)能量。在波的電場作用下,一個一個的電子受到加速、減速,最終電子的動能增大,哔咔漫画APP下载免费體得到維持。 這種能量從波到電子的轉移機製是比較複雜的,除了波的碰撞衰減之外,還有無碰撞狀態下的朗道衰減以及存在於天線正下方的駐波對電子的直接加速作用等。

3、微波哔咔漫画APP下载免费清洗機

微波哔咔漫画APP下载免费清洗的核心部件在於:可匹配調諧的波導管和哔咔漫画APP下载免费發生器,這兩個部件的設計和工藝與國外先進技術還存在不小的差距。國產實驗型微波哔咔漫画APP下载免费清洗機已經有在使用;而用於大規模工業清洗的微波哔咔漫画APP下载免费清洗機,還鮮有看到。

工業應用的微波哔咔漫画APP下载免费清洗機一般都屬於表麵波型,其工作模式是通過輻射微波電磁場直接將氣體擊穿實現放電,一般要求放電氣壓高,因為沒有離子的加速作用,其電子密度較高,對於有機物的去除和材料表麵活化的效率是比較高的。

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而在目前的微波哔咔漫画APP下载免费清洗機當中,仍需要進行不斷的改進,其中需要提升的幾個方麵包括:①放電氣壓高帶來的問題是哔咔漫画APP下载免费體局域化比較嚴重,縱深清洗比較差,不利於多層麵的大尺度的清洗處理;②微波電磁場對電子元器件多少會有一定電磁輻射作用,有可能會造成電子元器件的擊穿損傷。③設備造價高,維修保養不是很方便。