哔咔漫画APP下载免费清洗機所產生的哔咔漫画APP下载免费體,不僅具有清除有機物和無機物的“清潔”特性,而且通過改變電極結構、電極麵積或饋入方式,可以滿足一定的哔咔漫画APP下载免费體刻蝕的要求,那若是哔咔漫画APP下载免费清洗機的電極板不對稱,還能夠正常實現刻蝕作用嗎?

哔咔漫画APP下载免费刻蝕在半導體行業的應用屬於常規工藝,例如通入特殊的工藝氣體形成離子體,其中具有腐蝕性的哔咔漫画APP下载免费體基團會與矽晶圓等未經遮擋的表麵進行反應,把線路刻蝕出來,那麽轟擊到電極(工件)表麵的離子是一個非常重要的參數,顯然控製離子能量的電極(工件)壓降的定標是一個很重要的問題。

電極板.png

上圖是典型平行平板高頻哔咔漫画APP下载免费清洗機的電極結構,其電極壓降VA和VB與兩電極的表麵積SA和SB之間的比例關係根據過往的經驗給出公式:VA/VB=(SB/SA)α

在反應離子刻蝕(RIE)模式下,電極電壓VA和電極麵積SA是放置工件(晶圓)的帶電電極(RF饋入),也叫陰極;而VB和SA是接地電極(GND),也叫陽極。根據曆史經驗數據表明指數α的變化範圍為:1.0≤α≤2.5。

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雖然經過國內外無數科學家多年的研究,根據基本的原理確定了指數α的範圍,但在專業領域電容高頻哔咔漫画APP下载免费體反應器物理學仍是尚未解決的物理問題。經驗確定的範圍是假定的理想狀態,即假設兩個電極所截獲的實際離子電流相等。該假設對於兩個電極都帶電的對稱情況顯然是真實的;但是不清楚的是為什麽對非對稱的幾何結構這也是真實的。

另外此模型還假設器壁處於哔咔漫画APP下载免费體足夠負的電位上,離子電流來自無規轟擊形成的離子飽和流。對於圓形電容耦合高頻放電,電極板壓降的經驗定標仍然服從指數α的變化範圍為:1.0≤α≤2.5。

晶圓.png

工業應用中的圓柱形容性耦合射頻哔咔漫画APP下载免费清洗機的結構,往往是用圓柱形的石英玻璃做為反應腔體,在玻璃的外麵包裹一層銅質電極,常用來處理對均勻性要求不是非常高的產品,如小尺寸的晶圓。