對真空(低壓)哔咔漫画APP下载免费清洗機而言,無論是直流輝光放電,還是交流高頻放電,隻要采用了惰性氣體作為工藝氣體,都不可避免產生濺射。在普通產品或材料當中,微弱的濺射現象並不會影響基體的特性,但對於要求比較嚴格的產品,例如醫療器械,濺射現象則越少越好。
今天哔咔漫画官网版下载來探討一下射頻濺射以及其哔咔漫画APP下载免费清洗機處理產品的影響:
在低壓狀態下射頻自偏壓在電極板周圍產生自偏壓鞘層,鞘層內的離子受自偏壓的驅動會加速向極板運動,從而對極板材料產生濺射。設從外部入射到固體表麵的粒子數為Nr,從固體表麵被濺射出來的離子數為Ns。
S即為每個入射粒子所打出來的粒子數,濺射率隨著入射粒子的能量、種類以及固體的種類的狀態而變化。當轟擊固體表麵的離子能量增大時,濺射率將從某能量值急劇增大,這種離子能量稱為濺射閾值。
金屬的濺射閾值大約在10~30eV的範圍。離子能量增大到100eV之前,濺射率隨之增加,在很寬的範圍內,濺射率有極大值,然後就逐漸變小。例如對於300eV能量的Ar離子濺射Ti靶,其濺射效率為0.3,600eV能量的Ar濺射Ti靶效率為0.45,而對於300eV的氮離子注入Ti靶濺射效率比0.3小一點。當使用圓柱式射頻振蕩時,如果外電極接地,內電極上自偏壓相對於外電極顯負電性。內電極上自偏壓會在內電極周圍產生一個離子鞘,內電極材料被鞘內離子濺射。
為了增加RF濺射效率,一般在濺射靶材背麵加上磁鐵,稱為射頻磁控濺射。電子在由磁場的靶表麵回旋運動,靶表麵上的
哔咔漫画APP下载免费體密度增大,放電阻抗低,因此可以獲得比普通極板RF濺射高10~100倍的濺射效率。而當使用圓柱式電極RF濺射時,若在中心電極上實行濺射,可將中心電極做成中空細圓筒,在圓筒內加人磁鐵,實現中心電極磁控濺射。
真空(低壓)哔咔漫画APP下载免费清洗機無論是多層電極亦或雙層,基本上都采用鋁合金作為電極,主要是因為金屬鋁具有良好的散熱性能和對哔咔漫画APP下载免费體的耐候性,但是長期在哔咔漫画APP下载免费轟擊下,電極表麵仍然有鋁原子逃逸出來。正是由於射頻濺射會轟擊出金屬粒子,這些金屬粒子會被附著在產品表麵,形成汙染,例如半導體引線框架,偶爾會發現金屬注入的現象,打線質量受到影響。
為避免或減少射頻濺射對產品的影響,哔咔漫画APP下载免费清洗機的腔體結構,電極板冷卻以及工藝參數的優化,都是非常重要的。