射頻哔咔漫画APP下载免费清洗機根據其放電方式大致可以分為兩種:容性耦合射頻哔咔漫画APP下载免费放電和感性耦合哔咔漫画APP下载免费放電,今天哔咔漫画官网版下载主要探討的是水平電極容性耦合射頻哔咔漫画APP下载免费清洗機的基本放電模型。
射頻(Radio Frequency,RF)是指工作頻率在MHz量級,射頻電源指電源輸出工作電壓的頻率為射頻波段的典型值為13.56MHz。通過高頻振蕩,射頻功率與哔咔漫画APP下载免费體的相互作用可通過電感、電容耦合方式進行;用於材料表麵清洗行業,電容耦合式的射頻哔咔漫画APP下载免费清洗機非常適用。
產生低溫哔咔漫画APP下载免费體的方法主要有直流輝光放電、 直流電弧放電、 射頻感應放電、 電容耦合射頻放電以及微波放電等;無論是實驗室,還是工業應用,采用的哔咔漫画APP下载免费體源是目前應用比較廣泛的比較容易獲得大處理麵積的電容耦合式水平電極板方式。
對於電容耦合高頻哔咔漫画APP下载免费體源,維持在平行平板電極間的哔咔漫画APP下载免费體主要由高頻電場加熱。多數電容性耦合射頻哔咔漫画APP下载免费體反應器是非磁化的,工作的頻率範圍是1~100MHz,,低於電子響應電磁場的電子哔咔漫画APP下载免费體頻率,即ω<ωpe。因為采用容性耦合射頻放電可以產生大麵積的穩定的哔咔漫画APP下载免费體,電容性放電已經成為低氣壓放電材料處理中應用最廣泛的哔咔漫画APP下载免费體源。
然而有時容性射頻的電極板鞘電壓壓降過高,導致較低的離子密度及很高的離子轟擊能量,因而限製了它的應用。現在很多工業哔咔漫画APP下载免费清洗機已經改用電感耦式RF放電或者微波放電產生哔咔漫画APP下载免费體來替代容R放電。
另外還可以通過磁化RF振蕩的方法來改進。磁化射頻哔咔漫画APP下载免费體的模型由與非磁化容性耦合射頻放電模型比較類似,一個可控製的相對弱(50~200G)直流磁場與RF電極平行地加在樣品表麵。在固定功率下,磁場會增加哔咔漫画APP下载免费體密度,減小電極板的鞘壓;但是由於存在E × B飄移,哔咔漫画APP下载免费體會有一定的不均勻,這需要磁場在平麵內以低頻旋轉來均勻。
而早采用同軸圓柱RF振蕩產生哔咔漫画APP下载免费體時,電場沿徑向方向,磁場沿軸向方向,E × B為環向,而且電場E的方向是隨著RF振蕩持續變化的,所以環向哔咔漫画APP下载免费體流會使得哔咔漫画APP下载免费體分布更加均勻。