在真空狀態下,壓力越來越小,分子間間距越來越大,分子間力越來越小,哔咔漫画APP下载免费清洗設備利用高頻源產生的高壓交變電場將氧、氬、氫、四氟化碳等工藝氣體震蕩成具有高反應活性或高能量的哔咔漫画APP下载免费體,然後與有機汙染物及微顆粒汙染物反應或碰撞形成揮發性物質,然後由工作氣體流及真空泵將這些揮發性物質清除出去,從而達到表麵清潔、活化等目的。如圖所示:
真空室自動開關,一鍵式啟停,操作簡單方便
真空室內置張力控製係統,穩定材料漲縮,使處理更加平穩
高性能哔咔漫画APP下载免费發生器,激發更為穩定之哔咔漫画APP下载免费體
水平電極結構設計,更適合柔性材料
采用中通水冷電極,真正實現過程溫度控製,均衡均一
獨特的卷曲設計,解決卷式材料穿料問題,牽引材料更便捷
精確速度控製,精準控製速度的同時,實現恒張力恒速度
柔性材料的表麵清洗、表麵活化、表麵粗表麵刻蝕等
塑膠薄膜、金屬薄膜等水平卷式連續處理可繞折的卷材
型號 | RTR100L-W500 | |
控製係統 | 控製方式 | 全自動控製(自動/手動切換) |
PLC(標配)/PC(可選) | ||
操作係統 | Windows 10 | |
觸摸屏 | 7寸 | |
整機規格 | 尺寸 | W6900×D1650×H1150mm |
腔體 | 處理寬幅 | <520mm |
材質 | 鋁合金(標配)/不鏽鋼(可選),腔體3段式 | |
冰水機 | 通路 | 用於電源、電極、真空泵浦的冷卻 |
供電 | AC380V、3PH、50/60Hz、3KW | |
蝕刻能效 | 速率 | ≥0.5µm/Min |
均勻性 | ≥90% | |
真空計 | 薄膜矽電容耐腐蝕 | 1個,0-10Torr |
流量計 | MFC質量流量控製器 | 4個,量程0-2000ml/min |
真空泵 | 幹泵機組(螺杆泵+羅茨泵) | 1套,120m3/h+1800 m3/h;極限真空值≤50mTorr |
發生器 | 中頻 | 40KHz,20KW |
溫度控製係統 | 過程溫度控製 | 30-150℃恒定可控 |
張力控製係統 | 數顯張力 | - |
其它 | 工藝氣體:14MPa減壓至0.3MPa,O2=9.99%;Ar=99.99%;N2=99.99%;CF4=99.999% 氣體壓力:0.2MPa≤氣源≤1MPa;氣源壓力:0.3-0.8MPa;氣源純度:無油無水幹燥氣體;工作環境溫度:≤30℃;凍水流量:5 SLM;幹燥Air/N2流量:17 SLM |